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  • 电子工业用气氩
  • 电子工业用气氩
    产品标准:(GB/T 16945-2009)

     

    注:液态氩的水分应气化后测定


    应用领域:
    主要用于化学气相淀积、溅射、等离子及活性离子刻蚀剂和退火等不同工艺中。

  • 电子工业用气氩
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